行業痛點
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環境要求嚴格
潔凈室靜電、無塵、避震要求高，
通道狹窄易磕碰 -
人工作業難
人員流失率大，用工成本高，且人工作業震動大，
易產生裂片污染，影響良率 -
信息孤島
工藝流程復雜且離散，
數據難以追溯
半導體車間整體物流解決方案
方案優勢與價值
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提高生產效率
機器人高效代替人工作業，降低人工成本，提高生產效率。
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提高生產良率
多級減震設計，防止運輸過程中晶圓碎裂，提高生產良率。
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實現跨廠房及窄通道搬運
機器人本體寬度僅 550mm，可通過狹窄的風淋門，實現窄通道高效搬運。
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智能化柔性生產
采用智能管理系統主動收集生產數據信息，實時分析生產情況。
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服務與監督熱線
400-962-6800
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